Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981 / verantw. Bearb. Peter Pertsc
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| Superior document: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena 1982 |
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| Sonstige: | |
| Place / Publishing House: | Jena : Verl.-Abt. d. Friedrich-Schiller-Univ. Jena, 1982 |
| Year of Publication: | 1982 |
| Language: | German |
| Series: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität, Jena
1982 |
| Physical Description: | 232 S.; Ill.; 21 cm |
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Copies
OeAW BAS:IS (Library, Archiv, Collections)
| Location: | BASIS-Monographies |
| Call Numbers: | 15433-B |
| Call Number | 2nd Call Number | Description | Location | Remarks | Status | Availability | Order |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 15433-B | BASIS-Monographies | Loan | Available | Place a Hold |