TY - JOUR AU - Jergel, M. AU - Halahovets, Y. AU - Matko, I. AU - Korytar, D. AU - Zaprazny, Z. AU - Hagara, J. AU - Nadazdy, P. AU - Siffalovic, P. AU - Keckes, J. AU - Majkova, E. DA - 2018/06/15/ DO - 10.1007/s00170-018-1853-9 IS - 9-12 JF - Int. J. Adv. Manuf. Technol. PY - 2018 SE - 2018/06/15/ SP - 3603-3617 TI - Finishing of Ge nanomachined surfaces for X-ray crystal optics VL - 96 ER -